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等离子体EUV光源用的就是这个原理。
同步辐射和X射线自由电子激光两者的原理差不多,都是相对论性电子束的电磁辐射。
苏哲想了一会儿,还是觉得第一种,X射线管靠谱一些,因为高能电子撞击相应原子产生三组光源,及波长1.25纳米X射线、波长0.8纳米X射线、波长1.36纳米X射线的相关参数都是已知的。
波长1.25纳米X射线是由特定状态的高能电子撞击特定状态下的钙原子产生的。
波长0.8纳米X射线是由特定状态的高能电子撞击特定状态下的硼原子产生的。
波长1.36纳米X射线是由特定状态的高能电子撞击特定状态下的铅原子产生的。
高能电子状态参数,相关原子的状态参数都是已知的,能不能成就要看工程实现了。
他计算了一下,三组模型验证实验对光源的要求没有很高,工程实现应该不困难。
至少他是这么认为的。
苏哲抬头看向台上,心中想着,光源的理论问题解决了,就看工程实现了。
当然,如果研究中心有X射线自由电子激光器那就更好了。
他隐约记得,在范晓明带他参观研究中心的时候,好像看过一台设备,当时范晓明就说过,那是一台X射线发生器,而且产生的X射线的波长是可调的。
真要这样,那就省了很多事。
想到这,他掏出了手机,看了看时间,已经是晚上十点半了,这技术报告会应该快结束了。
他还想着技术报告会结束后,去办公室登陆研究中心数据系统,找找那台X射线发生器参数,瞧瞧是不是如范晓明说的,能产生波长可调的X射线。
在苏哲看向台上包正义的时候,牛光辉和司文博两人停下了手中的笔,不约而同的看向对方。
“老牛!你那组算的结果如何?”司文博小声的问。
“可以!理论上是可以的,你那组呢?”牛光辉非常的意外。
“也行!理论上完全可行。”司文博异常的惊讶。
“这……这太不可思议了。”牛光辉有些兴奋的说,“现在,我就等着技术报告会结束,连夜赶回陵州,用你和苏哲提供的比例方案试一下。”
“我感觉我们低估了苏哲。”司文博认真的说,“之前有人说,DYN-离子束抛光技术和苏哲有关,会不会这DYN-离子束抛光技术就是苏哲搞出来的。”
“这……不好说。”牛光辉有些迟疑。
要是没有苏哲提供的三组锡、铍比例,他肯定说不可能,现在就不好说了。
两人看着坐在旁边的苏哲,正想着要不要问苏哲的时候,包正义的喊声猛地变大了。
“各位!我站在台上说了一晚上,技术报告会也进入了尾声,我也应该掀开最后的谜底,这DYN-离子束抛光技术出自谁之手?”
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