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从2012年起,华夏半导体行业进入了百家争鸣的时代。
由于顺利突破了中高端光刻机的研发制造,加上一些关键的半导体材料企业和零配件企业都被顾秋或明或暗的掌控着,90纳米的光刻机对于华夏来说基本上没有任何秘密可言,完全可以实现量产。
至于32纳米和28纳米以上的设备,其实也不是不能造,只是受限于材料和零配件的稀缺性,不能做到量产而已,但是不管怎麽样,满天星集团旗下的工业园生产线已经装备了最新研发的28纳米光刻机。
我们所说的“28纳米光刻机”,指的是达到“28纳米节点工艺”精度的浸没式光刻机。
熟悉半导体的朋友都很清楚,通常一代光源的光刻机可以通过不断迭代升级跨越多个节点。
所以用“28纳米光刻机”来命名,实际上是比通常用光源波长命名要更精确一点。
“28纳米节点工艺”本身是中科院主导沪城科研基地和满天芯科研所共同研发的,从32纳米节点到22纳米节点的一个过渡产品,也是目前最先进的制程。
满天芯科研所推出的最先进的系统是浸没式光刻机MTX2012Ai,为了实现28纳米以下节点,通常需要双重曝光、多重曝光,所以浸没式光刻系统的精度更高,其产品套刻精度已经达到9纳米,特征尺寸精度甚至高达3纳米。
而且,这还不是华夏最先进的研发成果,在满天芯科研所负责人张昊博士的实验室里,20纳米光刻机雏形正在搭建。
在陪同顾秋参观讲解的时候,张昊给出的介绍是其产品套刻精度可以达到6纳米,特征尺寸精度直逼1.5纳米!
这样的成果,让顾秋相当满意,想起前世张昊被困北美软禁的遭遇,顾秋同时也再三嘱咐张昊博士,打死都不能接受境外任何科研人员的出国交流邀请。
甚至顾秋蛮横的扣押了张昊的护照,吩咐崔英豪安排两个保镖二十四小时贴身跟踪保护张昊,以防北美那边铤而走险!
90纳米的量产,这意味着中低端芯片方面,华夏那些半导体企业们基本上都可以自给自足,完全不用再去看别人的脸色。
随着中科院光刻机项目的进一步研发,满天芯科研所的芯片设计和制造技术突破,华夏的光刻机技术和芯片技术,已经不仅仅只是具有国际竞争力了,而是在这一领域,华夏芯片的发展速度将进一步加快。
而且华夏芯片产业作为国家重点扶持产业,国产替代需求较高,发展空间广阔,根本就无惧短期调整。
特别是满天星集团,在归国人才计划中为国家引进了大批人才,又无偿把阿斯麦公司的光刻机资料和经验分享到中科院等等一系列的动作后,让华夏的半导体行业出现了质的飞越,实现了弯道超车的梦想。
这些操作,使得顾秋的名字频繁出现在庙堂之高处,在那里满天星集团和顾秋,已经借中科院负责人的口中刷了好几波印象!
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